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品名 英文名 分子式 級(jí)別 詳情信息
UPSSS UPSS UPS EL CP IN
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* IN工業(yè)級(jí)
* CP化學(xué)純級(jí)
* EL等同于于美國(guó)SEMI G1標(biāo)準(zhǔn),可控制顆粒物(依需求),控制十多種金屬元素,單項(xiàng)金屬元素控制在300ppb以下。
* UPS等同于美國(guó)SEMI G3標(biāo)準(zhǔn),可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項(xiàng)金屬元素控制在1ppb以下。
* UPSS等同于美國(guó)SEMI G4標(biāo)準(zhǔn),可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項(xiàng)金屬元素控制在0.1ppb以下。
* UPSSS優(yōu)于美國(guó)SEMI G5標(biāo)準(zhǔn),可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項(xiàng)金屬元素控制在0.01ppb以下。
*表示注解